[1]
Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, и Ю. Н. Янковский, «Модификация пленок диазохинонноволачного фоторезиста имплантацией ионов бора», Журнал Белорусского государственного университета. Физика, вып. 2, сс. 62–69, июн. 2020, doi: 10.33581/2520-2243-2020-2-62-69.