Углов, Владимир Васильевич, и др. «Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN SiNx, сформированных методом реактивного магнетронного осаждения». Журнал Белорусского государственного университета. Физика, вып. 2, май 2019 г., сс. 105-11, https://doi.org/10.33581/2520-2243-2019-2-105-111.