Анищик, Виктор Михайлович, и др. «Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика». Журнал Белорусского государственного университета. Физика, вып. 2, май 2019 г., сс. 48-53, https://doi.org/10.33581/2520-2243-2019-2-48-53.