Углов, Владимир Васильевич, Сергей Владимирович Злоцкий, Игорь Анатольевич Солодухин, и Александр Анатольевич Малашевич. «Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN SiNx, сформированных методом реактивного магнетронного осаждения». Журнал Белорусского государственного университета. Физика, no. 2 (май 20, 2019): 105–111. просмотрено июль 17, 2026. https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/1358.