Анищик, Виктор Михайлович, Валентина Алексеевна Горушко, Владимир Александрович Пилипенко, Владимир Васильевич Понарядов, и Виталий Александрович Солодуха. «Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика». Журнал Белорусского государственного университета. Физика, no. 2 (май 20, 2019): 48–53. просмотрено июль 17, 2026. https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/1351.