Углов ВВ, Злоцкий СВ, Солодухин ИА, Малашевич АА. Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiNx, сформированных методом реактивного магнетронного осаждения. Журнал Белорусского государственного университета. Физика [Интернет]. 20 май 2019 г. [цитируется по 17 июль 2026 г.];(2):105-11. доступно на: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/1358