Оджаев ВБ, Панфиленко АК, Петлицкий АН, Просолович ВС, Ковальчук НС, Соловьев ЯА, и др. Влияние ионной имплантации азота на электрофизические свойства подзатворного диэлектрика силовых МОП-транзисторов. Журнал Белорусского государственного университета. Физика [Интернет]. 7 октябрь 2020 г. [цитируется по 17 июль 2026 г.];(3):55-64. доступно на: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/2870