Демидович СА, Юник АД, Козодоев СВ, Ковальчук НС, Демидович АГ. Получение пленок нитрида кремния для формирования диэлектрических и пассивирующих слоев в высоковольтных GaN-транзисторах. Журнал Белорусского государственного университета. Физика [Интернет]. 30 март 2026 г. [цитируется по 17 июль 2026 г.];(1):44-52. доступно на: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/7372