Воздействие высокотемпературного ионного облучения на наноструктурированные покрытия TiAlN
Аннотация
Методом реактивного магнетронного распыления сформированы наноструктурированные покрытия TiAlN на подложках из нержавеющей стали марки 12Х18Н10Т. Полученные покрытия TiAlN подвергнуты облучению ионами Ar+ c энергией 200 кэВ в диапазоне флюенсов от 2,5 ⋅ 1016 до 2,0 ⋅ 1017 ионов на 1 см2 при температуре 480 °С. С использованием энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии, сканирующей электронной микроскопии и рентгеноструктурного фазового анализа исследованы элементный состав, структурно-фазовое состояние и морфология исходных и облученных покрытий. Проведено наноиндентирование полученных структур по методике Оливера и Фарра, определены нанотвердость (Н), модуль Юнга (E), а также рассчитана ударная вязкость исследуемых покрытий как соотношение H/E∗. Установлено формирование однофазной структуры твердого раствора (Ti, Al)N покрытий в исходном состоянии. Обнаружен эффект селективного распыления наиболее легкого компонента – азота – из покрытий. До флюенса облучения 1,0 ⋅ 1017 ионов на 1 см2 не выявлено существенных изменений в структурно-фазовом состоянии покрытий. При флюенсе облучения 2,5 ⋅ 1016 ионов на 1 см2 отмечено улучшение комплекса прочностных свойств покрытий TiAlN. Сделан вывод, что наноструктурированные покрытия TiAlN являются радиационно стойкими до флюенса облучения 2,0 ⋅ 1017 ионов на 1 см2, при котором наблюдаются начало сегрегации твердого раствора (Ti, Al)N как основной фазы покрытий и эффект блистеринга.
Литература
- Shen TD. Radiation tolerance in a nanostructute: is smaller better? Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2008;266(6):921–925. DOI: 10.1016/j.nimb.2008.01.039.
- Komarov FF, Konstantinov SV, Zaikov VA, Pilko VV. [Effect of proton irradiation on the structural-phase state of nanostructured TiZrSiN coatings and their mechanical properties]. Inzhenerno-fizicheskii zhurnal. 2021;94(6):1645–1654. Russian.
- Zhang YF, Yan WQ, Chen L, Liao B, Hua QS, Zhang X. A hard yet tough CrAlSiN nanocomposite coating for blades deposited by filtered cathode vacuum arc. Surfaces and Interfaces. 2021;25:101156. DOI: 10.1016/j.surfin.2021.101156.
- Komarov FF, Konstantinov SV, Zaikov VA, Pilko VV. Radiation tolerance of nanostructured TiZrSiN coatings. Doklady of the National Academy of Sciences of Belarus. 2020;64(5):534–543. Russian. DOI: 10.29235/1561-8323-2020-64-5-534-543.
- Oliver WC, Pharr GM. An improved technique for determining hardness and elastic modulus using load and displacement sensing indentation experiments. Journal of Materials Research. 1992;7(6):1564–1583. DOI: 10.1557/jmr.1992.1564.
- Oliver WC, Pharr GM. Measurement of hardness and elastic modulus by instrumented indentation: advances in understanding and refinements to methodology. Journal of Materials Research. 2004;19(1):3–20. DOI: 10.1557/jmr.2004.19.1.3.
- Cavaleiro A, De Hosson JTM, editors. Nanostructured coatings. New York: Springer Science + Business Media; 2006. XX, 651 p. (Nanostructure science and technology). DOI: 10.1007/978-0-387-48756-4.
- Komarov FF. Ion beam modification of metals. Curtis P, translator. Philadelphia: Gordon and Breach Science Publishers; 1992. VII, 251 p.
- Ziegler JF, Biersack JP, Littmark U. The stopping and range of ions in solids. New York: Pergamon Press; 1985. 321 p. (Stopping and ranges of ions in matter; volume 1).
- Komarov FF, Konstantinov VM, Kovalchuk AV, Konstantinov SV, Tkachenko HA. The effect of steel substrate pre-hardening on structural, mechanical, and tribological properties of magnetron sputtered TiN and TiAlN coatings. Wear. 2016;352–353:92–101. DOI: 10.1016/j.wear.2016.02.007.
- Leyland A, Matthews A. Design criteria for wear-resistant nanostructured and glassy-metal coatings. Surface and Coatings Technology. 2004;177–178:317–324. DOI: 10.1016/j.surfcoat.2003.09.011.
- Musil J. Hard nanocomposite coatings: thermal stability, oxidation resistance and toughness. Surface and Coatings Technology. 2012;207:50–65. DOI: 10.1016/j.surfcoat.2012.05.073.
Copyright (c) 2022 Журнал Белорусского государственного университета. Физика

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial» («Атрибуция — Некоммерческое использование») 4.0 Всемирная.
Авторы, публикующиеся в данном журнале, соглашаются со следующим:
- Авторы сохраняют за собой авторские права на работу и предоставляют журналу право первой публикации работы на условиях лицензии Creative Commons Attribution-NonCommercial. 4.0 International (CC BY-NC 4.0).
- Авторы сохраняют право заключать отдельные контрактные договоренности, касающиеся неэксклюзивного распространения версии работы в опубликованном здесь виде (например, размещение ее в институтском хранилище, публикацию в книге) со ссылкой на ее оригинальную публикацию в этом журнале.
- Авторы имеют право размещать их работу в интернете (например, в институтском хранилище или на персональном сайте) до и во время процесса рассмотрения ее данным журналом, так как это может привести к продуктивному обсуждению и большему количеству ссылок на данную работу. (См. The Effect of Open Access).