Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии

Авторы

  • Виктор Михайлович Анищик Белорусский государственный университет, пр. Независимости, 4, 220030, г. Минск, Беларусь
  • Валентина Алексеевна Горушко Государственный центр «Белмикроанализ» филиала НТЦ «Белмикросистемы» ОАО «Интеграл», ул. Казинца, 121А, 220108, г. Минск, Беларусь
  • Владимир Александрович Пилипенко Белорусский государственный университет, пр. Независимости, 4, 220030, г. Минск, Беларусь
  • Владимир Васильевич Понарядов Белорусский государственный университет, пр. Независимости, 4, 220030, г. Минск, Беларусь
  • Виталий Александрович Солодуха ОАО «Интеграл», ул. Казинца, 121А, 220108, г. Минск, Беларусь

Ключевые слова:

быстрая термическая обработка, поликремний, ионно-легированный слой, поверхностное сопротивление

Аннотация

Рассмотрена возможность использования быстрой термической обработки для формирования ионно-легированных слоев в поликремнии. Показано, что применение быстрой термической обработки позволяет уменьшить перераспределение внедренной примеси, получить более полную ее электрическую активацию. Объяснен ускоренный процесс диффузии внедренной в поликремний примеси при использовании мощного светового потока.

Биографии авторов

  • Виктор Михайлович Анищик, Белорусский государственный университет, пр. Независимости, 4, 220030, г. Минск, Беларусь

    доктор физико-математических наук, профессор; декан физического факультета

  • Валентина Алексеевна Горушко, Государственный центр «Белмикроанализ» филиала НТЦ «Белмикросистемы» ОАО «Интеграл», ул. Казинца, 121А, 220108, г. Минск, Беларусь

    ведущий инженер

  • Владимир Александрович Пилипенко, Белорусский государственный университет, пр. Независимости, 4, 220030, г. Минск, Беларусь

    член-корреспондент НАН Беларуси, доктор технических наук; профессор кафедры физики полупроводников и наноэлектроники физического факультета

  • Владимир Васильевич Понарядов, Белорусский государственный университет, пр. Независимости, 4, 220030, г. Минск, Беларусь

    кандидат физико-математических наук, доцент; заместитель декана физического факультета

  • Виталий Александрович Солодуха, ОАО «Интеграл», ул. Казинца, 121А, 220108, г. Минск, Беларусь

    кандидат технических наук; генеральный директор

Библиографические ссылки

  1. Turtsevich A. S., Anufriev L. P. [Polycrystalline Silicon Films in the Production Technology of Integrated Circuits and Semiconductor Devices]. Minsk, 2006.
  2. Vogler D., Doe P. ALD Special Report: Whereʼs the metal? Solid State Technol. 2003. No. 1. P. 35–40.

Загрузки

Опубликован

2017-05-30

Выпуск

№ 2 (2017): Журнал Белорусского государственного университета. Физика

Раздел

Физика и техника полупроводников

Лицензия

Авторы, публикующиеся в данном журнале, соглашаются со следующим:

  1. Авторы сохраняют за собой авторские права на работу и предоставляют журналу право первой публикации работы на условиях лицензии Creative Commons Attribution-NonCommercial. 4.0 International (CC BY-NC 4.0).
  2. Авторы сохраняют право заключать отдельные контрактные договоренности, касающиеся неэксклюзивного распространения версии работы в опубликованном здесь виде (например, размещение ее в институтском хранилище, публикацию в книге) со ссылкой на ее оригинальную публикацию в этом журнале.
  3. Авторы имеют право размещать их работу в интернете (например, в институтском хранилище или на персональном сайте) до и во время процесса рассмотрения ее данным журналом, так как это может привести к продуктивному обсуждению и большему количеству ссылок на данную работу. (См. The Effect of Open Access).

Как цитировать

(1)
Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии. Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2017, вып. 2, 63-68.