Анищик ВМ, Горушко ВА, Пилипенко ВА, Понарядов ВВ, Солодуха ВА. Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2017;(2):63-68. просмотрено июль 17, 2026. https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/441