Анищик ВМ, Горушко ВА, Пилипенко ВА, Понарядов ВВ, Солодуха ВА. Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2019;(2):81-85. просмотрено июль 17, 2026. https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/489