[1]
В. М. Анищик, В. А. Горушко, В. А. Пилипенко, В. В. Понарядов, и В. А. Солодуха, «Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии», Журнал Белорусского государственного университета. Физика, вып. 2, сс. 63–68, май 2017, просмотрено: 17 июль 2026 г. [онлайн]. доступно на: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/441