Анищик ВМ, Горушко ВА, Пилипенко ВА, Понарядов ВВ, Солодуха ВА. Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии. Журнал Белорусского государственного университета. Физика [Интернет]. 30 май 2017 г. [цитируется по 17 июль 2026 г.];(2):63-8. доступно на: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/441