Анищик ВМ, Горушко ВА, Пилипенко ВА, Понарядов ВВ, Солодуха ВА. Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления. Журнал Белорусского государственного университета. Физика [Интернет]. 6 февраль 2019 г. [цитируется по 17 июль 2026 г.];(2):81-5. доступно на: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/489