Голографический интерферометр для контроля прозрачных подложек дифракционных оптических элементов
Аннотация
Отмечено, что в оптическом производственном контроле требуются сравнительно простые и надежные в работе интерференционные устройства, обеспечивающие реализацию различных способов контроля оптических элементов. Разработана оптическая схема голографического интерферометра, пригодная для работы в производственных условиях, которая позволяет реализовать способ интерференционного контроля качества оптических элементов типа фазовой дифракционной решетки на прозрачной стеклянной подложке. Способ основан на сравнении контролируемого элемента с эталонным. В данной схеме интерферометра конечная интерферограмма формируется при наложении двух световых пучков – объектного и эталонного, сдвинутых в пространстве на величину, сравнимую с диаметром самого пучка и превышающую линейные размеры исследуемого дифракционного оптического элемента. Представлены интерференционные картины результатов контроля качества подложек дифракционного оптического элемента. Предложенный способ может быть использован в оптическом производственном контроле дифракционного оптического элемента.
Литература
- Afanas’ev V. A. Opticheskie izmereniya. Moscow, 1981 (in Russ.).
- Malakara D. (ed.). Opticheskii proizvodstvennyi kontrol’. Moscow, 1985 (in Russ.).
- Kozhevatov I. E., Kulikova E. Kh., Cheragin N. P. [Method and device for high-precision monitoring of optical surface profiles]. Opticheskii zh. 1997. Vol. 64, No. 9. P. 49–54 (in Russ.).
- Rudenchik E. A., Kozhevatov I. E., Cheragin N. P., et al. [Method for absolute calibration of reference plates for interferometric inspection of surfaces]. Optika spektrosk. 2001. Vol. 90, No. 1. P. 127–135 (in Russ.).
- Doladugina V. S. [Technique for estimating wavefront deformation when monitoring the homogeneity of large blanks of optical glasses]. Opticheskii zh. 2003. Vol. 70, No. 2. P. 64–68 (in Russ.).
- Kreopalova G. V., Lazareva N. L., Puryaev D. T. Opticheskie izmereniya. Moscow, 1987 (in Russ.).
- Gosudarstvennaya sistema obespecheniya edinstva izmerenii. Optika i fotonika. Interferentsionnye izmereniya opticheskikh elementov i sistem. Part 3. Kalibrovka i attestatsiya interferometrov, metodika izmerenii opticheskikh volnovykh frontov : GOST Р 8.744-2011/ISO/TR 14999-3 : 2005. Introd. 01.03.13. Moscow : Federal’noe agentstvo po tekhnicheskomu regulirovaniyu i metrologii : Standartinform, 2013. 32 p.
- Lyalikov A. M. [Universal interferometric device for the quality control of optical elements]. Pis’ma v zh. tekh. fiz. 2009. Vol. 35, No. 4. P. 66–71 (in Russ.).
- Lyalikov A. M. [High-sensitive interferometric control of the quality of diffractive elements]. Kvantovaya elektron. 2010. Vol. 40, No. 12. P. 1141–1145 (in Russ.).
- But’ A. I., Lyalikov A. M. [Aberration-free long lateral shear interferometry]. Zh. tekh. fiz. 2010. Vol. 80, No. 9. P. 97–103 (in Russ.).
- Beketova A. K., Belozerov A. F., Berezkin A. N., et al. Golograficheskaya interferometriya fazovykh ob’ektov. Leningrad, 1979 (in Russ.).
- But’ A. I., Lyalikov A. M. [Improvement of the sensitivity of measurements in the formation of holographic interferograms of wedge plates]. Zh. tekh. fiz. 2012. Vol. 82, No. 5. P. 78–83 (in Russ.).
- Malacara D., Servin M., Malacara Z. Interferogram analysis for optical testing. London, 2005.
Copyright (c) 2017 Журнал Белорусского государственного университета. Физика
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial» («Атрибуция — Некоммерческое использование») 4.0 Всемирная.
Авторы, публикующиеся в данном журнале, соглашаются со следующим:
- Авторы сохраняют за собой авторские права на работу и предоставляют журналу право первой публикации работы на условиях лицензии Creative Commons Attribution-NonCommercial. 4.0 International (CC BY-NC 4.0).
- Авторы сохраняют право заключать отдельные контрактные договоренности, касающиеся неэксклюзивного распространения версии работы в опубликованном здесь виде (например, размещение ее в институтском хранилище, публикацию в книге) со ссылкой на ее оригинальную публикацию в этом журнале.
- Авторы имеют право размещать их работу в интернете (например, в институтском хранилище или на персональном сайте) до и во время процесса рассмотрения ее данным журналом, так как это может привести к продуктивному обсуждению и большему количеству ссылок на данную работу. (См. The Effect of Open Access).