Голографический интерферометр для контроля прозрачных подложек дифракционных оптических элементов

  • Наталия Тадеушевна Авласевич Гродненский государственный университет им. Янки Купалы, ул. Э. Ожешко, 22, 230023, г. Гродно, Беларусь
  • Андрей Иванович Буть Технологический колледж Гродненского государственного университета им. Янки Купалы, ул. Горького, 84, 230009, г. Гродно, Беларусь
  • Александр Михайлович Ляликов Гродненский государственный университет им. Янки Купалы, ул. Э. Ожешко, 22, 230023, г. Гродно, Беларусь

Аннотация

Отмечено, что в оптическом производственном контроле требуются сравнительно простые и надежные в работе интерференционные устройства, обеспечивающие реализацию различных способов контроля оптических элементов. Разработана оптическая схема голографического интерферометра, пригодная для работы в производственных условиях, которая позволяет реализовать способ интерференционного контроля качества оптических элементов типа фазовой дифракционной решетки на прозрачной стеклянной подложке. Способ основан на сравнении контролируемого элемента с эталонным. В данной схеме интерферометра конечная интерферограмма формируется при наложении двух световых пучков – объектного и эталонного, сдвинутых в пространстве на величину, сравнимую с диаметром самого пучка и превышающую линейные размеры исследуемого дифракционного оптического элемента. Представлены интерференционные картины результатов контроля качества подложек дифракционного оптического элемента. Предложенный способ может быть использован в оптическом производственном контроле дифракционного оптического элемента.

Биографии авторов

Наталия Тадеушевна Авласевич, Гродненский государственный университет им. Янки Купалы, ул. Э. Ожешко, 22, 230023, г. Гродно, Беларусь

аспирантка кафедры информационных систем и технологий физико-технического факультета. Научный руководитель – А. М. Ляликов

Андрей Иванович Буть, Технологический колледж Гродненского государственного университета им. Янки Купалы, ул. Горького, 84, 230009, г. Гродно, Беларусь

кандидат физико-математических наук; директор

Александр Михайлович Ляликов, Гродненский государственный университет им. Янки Купалы, ул. Э. Ожешко, 22, 230023, г. Гродно, Беларусь

доктор физико-математических наук; профессор кафедры информационных систем и технологий физико-технического факультета

Литература

  1. Afanas’ev V. A. Opticheskie izmereniya. Moscow, 1981 (in Russ.).
  2. Malakara D. (ed.). Opticheskii proizvodstvennyi kontrol’. Moscow, 1985 (in Russ.).
  3. Kozhevatov I. E., Kulikova E. Kh., Cheragin N. P. [Method and device for high-precision monitoring of optical surface profiles]. Opticheskii zh. 1997. Vol. 64, No. 9. P. 49–54 (in Russ.).
  4. Rudenchik E. A., Kozhevatov I. E., Cheragin N. P., et al. [Method for absolute calibration of reference plates for interferometric inspection of surfaces]. Optika spektrosk. 2001. Vol. 90, No. 1. P. 127–135 (in Russ.).
  5. Doladugina V. S. [Technique for estimating wavefront deformation when monitoring the homogeneity of large blanks of optical glasses]. Opticheskii zh. 2003. Vol. 70, No. 2. P. 64–68 (in Russ.).
  6. Kreopalova G. V., Lazareva N. L., Puryaev D. T. Opticheskie izmereniya. Moscow, 1987 (in Russ.).
  7. Gosudarstvennaya sistema obespecheniya edinstva izmerenii. Optika i fotonika. Interferentsionnye izmereniya opticheskikh elementov i sistem. Part 3. Kalibrovka i attestatsiya interferometrov, metodika izmerenii opticheskikh volnovykh frontov : GOST Р 8.744-2011/ISO/TR 14999-3 : 2005. Introd. 01.03.13. Moscow : Federal’noe agentstvo po tekhnicheskomu regulirovaniyu i metrologii : Standartinform, 2013. 32 p.
  8. Lyalikov A. M. [Universal interferometric device for the quality control of optical elements]. Pis’ma v zh. tekh. fiz. 2009. Vol. 35, No. 4. P. 66–71 (in Russ.).
  9. Lyalikov A. M. [High-sensitive interferometric control of the quality of diffractive elements]. Kvantovaya elektron. 2010. Vol. 40, No. 12. P. 1141–1145 (in Russ.).
  10. But’ A. I., Lyalikov A. M. [Aberration-free long lateral shear interferometry]. Zh. tekh. fiz. 2010. Vol. 80, No. 9. P. 97–103 (in Russ.).
  11. Beketova A. K., Belozerov A. F., Berezkin A. N., et al. Golograficheskaya interferometriya fazovykh ob’ektov. Leningrad, 1979 (in Russ.).
  12. But’ A. I., Lyalikov A. M. [Improvement of the sensitivity of measurements in the formation of holographic interferograms of wedge plates]. Zh. tekh. fiz. 2012. Vol. 82, No. 5. P. 78–83 (in Russ.).
  13. Malacara D., Servin M., Malacara Z. Interferogram analysis for optical testing. London, 2005.
Опубликован
2017-05-30
Ключевые слова: голографическая интерферометрия, контроль качества оптических элементов, дифракционные оптические элементы
Как цитировать
Авласевич, Н. Т., Буть, А. И., & Ляликов, А. М. (2017). Голографический интерферометр для контроля прозрачных подложек дифракционных оптических элементов. Журнал Белорусского государственного университета. Физика, 2, 34-40. Доступно по https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/437